更新時間:2024-08-01
canon-anelva M-311HG真空計イオンゲージ(熱陰極電離真空計)M-311HG(真空計)イオンゲージ M-311HG
品牌 | 其他品牌 | 貨號 | M-311HG |
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規(guī)格 | 1 | 供貨周期 | 一個月以上 |
主要用途 | 真空計 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,電氣 |
壓力測量范圍 | 1×10-7~10Pa |
canon-anelva M-311HG真空計
canon-anelva M-311HG真空計
換能器真空計系列的離子計。離子規(guī)(熱陰極電離真空規(guī))具有良好的重現(xiàn)性和線性,可測量寬范圍的壓力,是作為真空規(guī)的優(yōu)良特性。傳感器使用經(jīng)過驗證的微型儀表(MG-2I 型)
特征 壓力測量范圍廣 從 10-7Pa 到 10Pa,可以在不犧牲超高真空側(cè)特性的情況下測量超出濺射工藝的低真空區(qū)域。 高響應(yīng)模擬輸出 壓力值的模擬信號輸出確保100毫秒內(nèi)的高響應(yīng)性,也可用于過程壓力控制。 4種發(fā)射電流設(shè)置模式 可根據(jù)用途進(jìn)行選擇,例如在高壓區(qū)側(cè)使用時可提高燈絲壽命
用 生產(chǎn)真空設(shè)備壓力測量 半導(dǎo)體濺射設(shè)備壓力測量 各種真空裝置 選項 可提供系列兼容指示器。 大型數(shù)字液晶顯示屏,一目了然,大大提高了操作性 根據(jù)應(yīng)用選擇1ch類型或3ch類型
型 名 | イオンゲージ | |
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M-311HG‐SP | M-311HG‐RS | |
圧力測定範(fàn)囲 | 1×10-7~10Pa | |
入力電圧 | DC20~28V | |
消費電力 | 12W | |
アナログ出力 | 0~10V | - |
セットポイント | 2點リレー出力 | |
インターフェース | - | RS485 |
入出力コネクタ | Dsub-9(Male) | |
最大ケーブル長 | 200m(1mm2) | |
使用溫度範(fàn)囲 | 5~50℃ | |
保存溫度範(fàn)囲 | -20~70℃ | |
センサ-型名 | ミニチュアB-Aゲージ(MG-2Iシリーズ) | |
センサー材質(zhì)(主要部) | フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304 | |
外形寸法(mm) | 110×70×50 | |
フランジ形狀 | NW16, NW25, ICF34, ICF70 | |
対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 |