更新時間:2024-08-01
日本canon-anelva M-350PG真空計電容計 M-342DG(真空計) 電容計 M-342DG
品牌 | 其他品牌 | 貨號 | M-350PG |
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規格 | 1 | 供貨周期 | 一個月以上 |
主要用途 | 真空計 | 應用領域 | 環保,電子,電氣 |
測量精度 | 0.20(at 23℃) |
日本canon-anelva M-350PG真空計
日本canon-anelva M-350PG真空計
電容計 M-342DG(真空計) 電容計 M-342DG
電容式壓力計“M-342DG”壓力傳感器采用小型硅MEMS芯片,將溫度、振動、大氣壓力波動等外界環境的影響降至,從而實現高精度和穩定的壓力測量。它是一種隔膜壓力實現最小調零頻率的儀表
特征 高精度和穩定的壓力測量 ? 優異的零點穩定性 ? 低溫度依賴性和出色的穩定性,無需溫度控制機制 ? 優異的抗振噪音性能 緊湊和低功耗 -重量為 200 克,尺寸為 W46 毫米 x H49 毫米 x L106 毫米 (* 1) ? 功耗 0.5W * 1 質量和尺寸適用于接頭 NW16 規格。 用 支持各種高精度、長期穩定的真空壓力測量 各種真空器件,如半導體、顯示器、太陽能電池等。 ? 真空成膜過程壓力控制和監測,如濺射和PECVD ?負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導入工序、系統壓力控制 醫療、生物科技、食品等行業,以及各種研發應用 各種鍍膜、等離子處理、真空密封、真空爐、分析儀、殺菌、真空泵評價、分子蒸餾等
型名 | M-342DG | ||||
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-1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
フルスケール圧力(Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
測定精度(% of reading) | 0.20(at 23℃) | ||||
ゼロ點溫度係數(% of F.S./℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
スパン溫度係數(% of reading/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
分解能(% of Full-scale) | 0.01 | 0.005 | |||
測定下限圧力(% of Full-scale) | 0.01 | ||||
実用測定下限圧力(% of Full-scale) | 0.05 | ||||
実用制御下限圧力(% of Full-scale) | 0.5 | ||||
応答速度(ms) | 100 | 30 | |||
加圧上限 | 200kPa(但しNW16、NW25のものは內部が陽圧にならないこと) *13.33Pa仕様は130kPa | ||||
電源電圧(VDC) | +13.5~26.4 | ||||
消費電力(W) | 0.5 | ||||
アナログ出力(VDC) | 0~10 | ||||
使用溫度/保管溫度(℃) | 0~50/-20~70(非動作時) | ||||
最大ケーブル長(m) | 100(専用ケーブル) | ||||
ゼロ點調整方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
接ガス部材質 | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
フランジ?形狀と質量 | NW16(200g)、NW25(210g)、8-VCR メス(250g)、φ70ICF(460g) | ||||
対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 | ||||
安全保障貿易管理規制 | 非該當 | ||||
対応表示器 | M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ) |