canon-anelva控制裝置P-511 IP P-521 IP

 離子泵/貴族泵控制裝置 P-500系列

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 它是一種控制裝置，可在 10-2Pa 至 10-4Pa 或更低的高真空范圍內(nèi)操作離子泵或惰性泵。 顯示屏使用大型綠色 LED 來提高遠(yuǎn)距離的可見度。 在考慮與傳統(tǒng)型號的兼容性的同時，我們實(shí)現(xiàn)了改進(jìn)的功能、CE 和 RoHS 合規(guī)性。 除了全系列的 I/0 功能外，它是自動化設(shè)備和遠(yuǎn)程控制設(shè)備的理想選擇，因為它可以通過添加選項板支持 RS232C 通信。 離子泵和惰性泵有超高真空型和大功率型兩種，工作壓力范圍和啟動壓力因連接的泵而異

 特征 高性能 實(shí)現(xiàn)高電壓電源所需的高級基礎(chǔ)功能，例如提高監(jiān)控電流和電壓值時的最小可顯示值，增加壓力顯示，以及各種保護(hù)功能。硬工藝支持 全功能 支持2點(diǎn)設(shè)定點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備等各種I/O標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的外部控制停電自動恢復(fù)（可選） 高兼容性 確保遠(yuǎn)程連接器、輸入電纜和輸出電纜與傳統(tǒng)型號的兼容性 溝通支持 RS232C（可選（出廠內(nèi)置）） 合格標(biāo)準(zhǔn) CE 標(biāo)志，符合 RoHS 指令 用 電子顯微鏡、電子束光刻系統(tǒng) 離子束裝置、掩模修復(fù)裝置 加速器相關(guān)系統(tǒng)，例如存儲環(huán)和光束線 MBE、表面分析儀、各種分析儀等超高真空設(shè)備

イオンポンプ制御裝置