更新時間:2024-07-30
HORIBA堀場HE-960H-TM-S高精度TMAH濃度監測儀高精度TMAH濃度監測儀HORIBA堀場HE-960H-TM-S濃度監測儀
品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 環保 |
HORIBA堀場HE-960H-TM-S高精度TMAH濃度監測儀
總覽
TMAH濃度的高精度測量,TMAH濃度是半導體/液晶工藝中使用的光刻膠顯影劑的主要成分。我們擁有一系列的耐化學腐蝕傳感器。
特征
高精度:重復性在±0.003wt%之內
大范圍
濃度:0-3%,電導率:0-1000 mS / cm
顯示范圍自動切換功能
能夠測量3種TMAH濃度,電導率和溫度
使用耐化學腐蝕碳傳感器
24V DC電源
符合RoHS的產品
型式 | HE-960H-TM-S |
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薬液種 | TMAH |
測定範囲 | 濃度: 0 - 3%, 導電率: 0 - 1000mS/cm |
繰り返し性 | +/- 0.003wt%以內 (溫度変動幅+/-0.5℃以內、導電率等価入力にて) |
直線性 | +/- 0.003wt%以內 (溫度変動幅+/-0.5℃以內、導電率等価入力にて) |
伝送出力 | 4點 |
接點出力 | 5點 |
通信出力 | RS-485 |
電源仕様 | 24V DC +/- 10% 10W |
適合センサ | FES-510 Series |
センサ接液部材質 | GC, PFA, Karletz® |