Mitutoyo顯微鏡VMU-H 378-506

顯微鏡

觀察、測量和處理系統化的顯微鏡陣容

VMU

378 系列 — 視頻顯微鏡系統

• 緊湊輕量型顯微鏡，相機觀察型。適于

檢測金屬表面、半導體、液晶面板、樹脂等。

• 多種鏡體通常用作適用于專業器械的OEM

(原廠委制) 產品，如那些利用YAG (近紅外、

可見、近紫外或紫外) 激光* 對半導體晶片

進行檢測和修補的設備。

* 不保證激光系統產品的性能和安全性。

應用：切割、修整、校正、 給半導體電路做

標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色

濾光器的修復 (校正錯誤)。還可用作光學觀

察剖面圖以便探頭分析半導體故障。

• 對于VMU-LB 和 VMU-LB， 顯微鏡主件的剛度

和總體性能與之前的型號相比已有所提高。

• 應用*: 晶體硅的內部觀察、紅外光譜特征

分析等。

* 需要紅外光源和紅外攝像機。

• 配有孔徑光闌的遠心光學系統是表面照明

光學系統上的標準配件。適于需要均勻

照明的圖像處理。可用于尺寸測量、形狀

檢驗、定位等。

• 設計和制造均能滿足您的需求，如雙攝影

機架、雙(低/ 高) 放大率觀察。

規格

型號VMU-V VMU-H VMU-LB VMU-L4B

貨號378-505 378-506 378-513 378-514

相機安裝方向垂直水平垂直

觀察亮視場/正像亮視場/反像亮視場/正像

光學管徑

TV適配器配備C-mount端口以及調心機構配備C-mount端口以及調心機構(帶有綠色濾光片轉換開關)

成像(管徑)鏡頭內置1X(可見/近紅外校準) 內置1X(近紅外~可見~近紫外校準) 內置1X(可見光/紫外線)

適用激光— YAG激光源(基本，第二/第三諧波)

安裝

YAG激光源(第二/第三/第四諧波)

安裝

物鏡

(必選)

用于觀察M Plan Apo系列, M Plan Apo HR系列, M Plan Apo SL系列, G Plan Apo系列

用于激光切割—

M/LCD Plan Apo NIR系列

M/LCD Plan Apo NUV系列

注意：取決于激光源的波長

M/LCD Plan Apo NIR系列

M/LCD Plan Apo NUV系列

M Plan UV系列

注意：取決于激光源的波長

適用相機(S) 2/3"以下相機(C-mount型)

反射照明光學系統配備有孔徑光闌的遠心光學系統

照明裝置(可選) 光纖傳導照明裝置(12V，100W) (378 - 700*)/(15V，150W) (176 - 316*)

主機重量650g 750g 1270g 1300g

注1：除上面顯示的型號外，對其它用于一般觀察的型號，也同樣配備了小型科勒照明系統。

注2：M Plan Apo 1X物鏡需同偏振裝置(378 - 710)一同使用。

*電源線不同貨號有所不同。